影山 麻樹子 | 沖電気工業

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概要

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• 沖電気工業の論文著者

関連著者

• 影山 麻樹子

  沖電気工業

• 橋本 圭市

  沖電気工業(株) 超lsi研究開発センター

• 鉄田 博

  沖電気工業株式会社生産センタ

• 〓田 博

  沖電気工業株式会社 生産センタ

• おの田 博

  沖電気工業

• 橋本 圭市

  沖電気工業

• 吉丸 正樹

  沖電気工業(株)超LSI研究開発センタ

• 井田 次郎

  沖電気工業株式会社

• 井田 次郎

  沖電気工業 超lsi研究開発センター

• 〓田 博

  沖電気工業(株)

• 原田 裕介

  沖電気工業

• 梶田 陽子

  沖電気工業(株)超LSI研究開発センター

• 吉丸 正樹

  沖電気工業(株)シリコンソリューションカンパニー研究本部

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著作論文

• Al/TiN積層配線におけるAlの配向性とエレクトロマイグレ-ション特性
• Ti密着層を用いたAl-Si-Cu埋め込みヴィアのエレクトロマイグレーション
• アルミ積層配線のエレクトロマイグレーション : TiNを上層に有する積層配線の信頼性
• 多層配線における埋め込みヴィアホール形成技術

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