橋本 圭市 | 沖電気工業
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概要
関連著者
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橋本 圭市
沖電気工業(株) 超lsi研究開発センター
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橋本 圭市
沖電気工業
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〓田 博
沖電気工業株式会社 生産センタ
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鉄田 博
沖電気工業株式会社生産センタ
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おの田 博
沖電気工業
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戸内 謙信
沖電気工業(株)
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戸内 謙信
沖電気工業(株)超lsi研究開発センター
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成田 匡
沖電気工業(株)超lsi研究開発センター
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影山 麻樹子
沖電気工業
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原田 裕介
沖電気工業
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成田 匡
沖電気工業(株)
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吉丸 正樹
沖電気工業(株)超LSI研究開発センタ
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井田 次郎
沖電気工業株式会社
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井田 次郎
沖電気工業 超lsi研究開発センター
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〓田 博
沖電気工業(株)
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阿部 一英
沖電気工業(株)
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山口 俊夫
沖電気工業超LSI研究開発センタ
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梶田 陽子
沖電気工業(株)超LSI研究開発センター
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?田 博
沖電気工業(株)超LSI研究開発センター
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吉丸 正樹
沖電気工業(株)シリコンソリューションカンパニー研究本部
著作論文
- Al合金/Ti積層構造における下地絶縁膜表面粗さのAl合金膜特性への影響
- Ti密着層を用いたAl-Si-Cu埋め込みヴィアのエレクトロマイグレーション
- Al合金/Ti構造における下地絶縁膜表面粗さのAl配向性への影響
- Al高温スパッタ法により形成される生成物と配線信頼性への影響
- EM加速試験におけるAl配線抵抗増加特性
- 多層配線における埋め込みヴィアホール形成技術
- スパッタCuリフロー法による溝埋込み配線形成