イオンプレーティングにおけるAl-Ar混合気体放電のプラズマパラメータとAlのイオン化率
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概要
著者
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柴田 明
福井工業高等専門学校
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橘 邦英
京都大学
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沖村 邦雄
東海大学電子工学科
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沖村 邦雄
福井工業高等専門学校
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橘 邦英
京都工芸繊維大学
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橘 邦英
京都工芸繊維大学工芸学部電子情報工学科
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沖村 邦雄
Tokai Univ. Kanagawa Jpn
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