反応性スパッタによる TiO_2 ルチル膜の低温成長
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概要
著者
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柴田 明
福井工業高等専門学校
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沖村 邦雄
東海大学電子工学科
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沖村 邦雄
福井工業高等専門学校
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松原 覚衛
山口大学
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松原 覚衛
山口大学工学部
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沖村 邦雄
Tokai Univ. Kanagawa Jpn
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松原 覚衛
山口大学:日本熱電学会
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