Al-Ar混合気体放電のプラズマパラメータとペニング効果
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概要
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Investigations on the relative role of Penning ionization as a mechanism for the ionization of vaporized Al in Ar discharge were carried out. Ar metastable atom densities were measured by optical absorption method in the Ar gas pressure range of 0.02〜0.3Torr. Plasma parameters such as electron energy distribution functions and electron densities in Al-Ar mixture discharges were measured by means of an electrostatic probe technique. The results show that Penning ionization is an important mechanism for the ionization in Al-Ar mixture discharge at Ar gas pressure of 0.14Torr when the ratio of Al atom density to Ar atom density is 1.8 x 10^<-5>.
- 社団法人プラズマ・核融合学会の論文
- 1994-10-25
著者
-
柴田 明
福井工業高等専門学校
-
沖村 邦雄
東海大学電子工学科
-
前田 直宏
福井高専
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前田 直宏
福井工業高等専門学校
-
沖村 邦雄
福井工業高等専門学校
-
沖村 邦雄
Tokai Univ. Kanagawa Jpn
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