1p-T-2 材料プロセス用反応性プラズマにおける原子・分子過程

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概要

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• 社団法人日本物理学会の論文
• 1990-03-16

著者

• 橘 邦英

  京都大学

• 橘 邦英

  京都工芸繊維大学

• 橘 邦英

  京都工芸繊維大学工芸学部電子情報工学科

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