次世代半導体デバイススケーリングの新たな障壁 - 宇宙線中性子ソフトエラー -
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概要
著者
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伊部 英史
(株)日立製作所中央研究所
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伊部 英史
日立製作所生産技術研究所
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矢作 保夫
(株)日立製作所 生産技術研究所
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日高 光守
エルピーダメモリ(株)
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伊部 英史
日立 生産技研
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矢作 保夫
日立製作所生産技術研究所1
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亀山 英明
ルネサステクノロジ武蔵
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亀山 英明
(株)日立製作所生産技術研究所
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片岡 文雄
(株)日立製作所生産技術研究所
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江藤 晃
エルピーダメモリ(株)
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斉藤 良和
(株)日立製作所半導体グループ
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片岡 文雄
(株)日立製作所 生産技術研究所 プロセスソリューション研究部
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