マイクロ多層超音波モータの開発 -第2報 振動の種の発見と多層化・位相決め性能-
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概要
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- 1999-03-05
著者
-
遠山 茂樹
東京農工大学大学院 共生科学技術研究院
-
沢田 潔
ファナック(株)
-
遠山 茂樹
東京農工大 工
-
奥 秀明
ファナック株式会社
-
小田 隆之
ファナック
-
坂野 哲朗
ファナック
-
沢田 潔
ファナック
-
遠山 茂樹
東京農工大
-
奥 秀明
ファナック(株)
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