フライアイミラーの超精密5軸制御加工 : 形状精度, 表面粗さの向上
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概要
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- 2002-10-01
著者
-
竹内 芳美
大阪大学大学院工学研究科
-
河合 知彦
ファナック(株)
-
沢田 潔
ファナック(株)
-
竹内 芳美
大阪大学大学院
-
橋本 義則
電気通信大学大学院
-
瀧野 日出雄
(株)ニコン
-
沢田 潔
ファナック
-
河合 知彦
ファナック(株)ロボナノ事業本部ロボナノ営業部
-
橋本 義則
電気通信大学大学院:(現)セイコーエプソン(株)
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