ECRプラズマビームによる超薄膜DLCの形成 -傾斜機能化による機械的特性の向上及び超薄膜化-
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概要
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- 1998-09-01
著者
-
津田 信哉
三洋電機(株)ニューマテリアル研究所
-
平野 均
三洋電機(株)
-
木山 精一
三洋電機(株)
-
堂本 洋一
三洋電機(株)
-
蔵本 慶一
三洋電機(株)
-
樽井 久樹
三洋電機(株)
-
平野 均
三洋電機
-
木山 精一
(株)三洋電機
-
木山 精一
三洋電機株式会社 株式会社ジーティシー
-
蔵本 慶一
三洋電機株式会社
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