高電圧マイクロ光電変換デバイス
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
- 1998-06-10
著者
関連論文
- プラズマCVMによる集積型a-Si太陽電池の高速パターニングに関する研究
- ECRプラズマビームによる超薄膜DLCの形成 -傾斜機能化による機械的特性の向上及び超薄膜化-
- エキシマレーザによる新構造集積型a-Si太陽電池形成技術に関する研究
- 高密度プラズマを用いたダイヤモンド状(DLC)薄膜の低温形成に関する研究(第4法) -DLC薄膜の構造及び特性の評価-
- 高密度プラズマを用いたダイヤモンド状薄膜の低温形成に関する研究 -低温コーティング技術への応用-
- 大気圧プラズマCVD法によるアモルファスSiの高速成膜に関する研究(第3報) : 高速形成a-Si薄膜の電気・光学特性
- 大気圧プラズマCVD法によるアモルファスSiの高速成膜に関する研究 (第2報) : 成膜速度の高速化
- 大気圧プラズマCVD法によるアモルファスSiの高速成膜に関する研究(第1報) : 回転電極型大気圧プラズマCVD装置の設計・試作
- 回転電極を用いた大気圧プラズマCVDによるSi薄膜の高速成膜に関する研究(第5報) -高速形成a-Si薄膜の特性-
- 回転電極を用いた大気圧プラズマCVDによるSi薄膜の高速成膜に関する研究(第4報) -a-Siの成膜速度の高速化-
- 回転電極を用いた大気圧プラズマCVDによるSi薄膜の高速成膜に関する研究(第3報) -a-Si : H成膜プロセスにおけるパウダーの影響-
- 光によるマイクロマシンへのエネルギー供給技術(第3報)-微小サイズ光電変換素子の高出力化に関する検討-
- 接触面微細凹凸部に対するフォノン伝導シミュレーションの研究
- マイクロマシン用微細配線の直描式レーザCVD法による形成
- 「マイクロ光電変換デバイス技術」の目ざすもの (特集 マイクロマシンが大きく見える)
- 直描式レーザCVDによるタングステン薄膜の選択的形成に関する検討 -微小光電変換デバイス用微細配線用-
- 高電圧マイクロ光電変換デバイス
- 三洋電機(株)研究開発本部ニューマテリアル研究所
- マイクロ光電変換デバイス (創刊15周年特集 マイクロマシン技術開発の現段階)
- ボルテ-ジが上がってます--マイクロマシン電力供給用材料の加工技術 (特集 極微のマテリアル・テクノロジ-(上))