a-Si膜および太陽電池特性に及ぼすi層中の酸素不純物の影響

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概要

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不純物として酸素が混入したa-si膜および太陽電池の初期及び光照射後特性の変化を調べた。a-Si膜に混入する酸素量が増加すると、暗導電率と光導電率が上昇し、活性化エネルギーが減少する。これは、酸素原子がドナーライクな振る舞いをするためだと考えられる。光照射後は、光照射により生成する欠陥に膜特性が支配されて、酸素量による依存性はほとんど観測されなくなる。太陽電池のi層中の酸素量を増加させると、ドナーライクな振る舞いをする酸素原子の影響でi層の電界が不均一になり、変換効率が減少する。光照射後は、膜特性とは異なり、初期に生した酸素量により変換効率の違いが残り、これは上述の電界の不均一性の影響が大きいためと考えられる。
社団法人電子情報通信学会の論文
1993-12-09

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