LD励起YAGレーザによる透光性導電酸化膜の除去加工特性
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概要
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アモルファスシリコン (a-Si) 系太陽電池に必要なガラス基板上に形成された透光性導電酸化膜のレーザパターニングに対し, 熱的損傷に関するレーザ光パルス幅の影響を評価し, ランプ励起方式に比べ, LD励起方式の方が熱的損傷を低減できることを明らかにした. また, レーザ照射条件と加工特性との関係を実験的に検討し, 電気的特性と高品位な被加工部形状とを両立する加工条件を見出した.
- 公益社団法人精密工学会の論文
- 2005-01-05
著者
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