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(株)日立製作所デバイス開発センタ | 論文
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- 超高速光伝送装置の超高速多重/分離回路構成
- デターミニスティックBISTによる高効率高品質テストの実現
- DCCPW線路を用いた光・マイクロ波受信モジュール
- 走査型容量顕微鏡による半導体中微量ドーパントの空間分布測定
- 走査型キャパシタンス顕微鏡による微小領域の半導体不純物分布測定
- 電子線単層ポジ型レジストプロセスの開発
- 電子線ポジ型化学増幅系レジストPSRの現像特性評価とプロセス応用
- ハーフトーン位相シフトリソグラフィ技術
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- ロジック-DRAM混載技術
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- 基板電圧バックバイアス状態での低電圧テストにおける短絡欠陥検出能力の評価(テスト手法, LSIのテスト・診断技術論文)
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- 欠陥ベース故障診断手法
- 423 LSIチップ上に形成されたはんだバンプ表面の活性化技術の開発 : フラックスレスはんだ接続プロセス技術(第1報)