走査型キャパシタンス顕微鏡による微小領域の半導体不純物分布測定

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概要

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• 日本表面科学会の論文
• 1999-01-10

著者

• 久保 真紀

  (株)日立製作所 デバイス開発センタ プロセス開発部

• 中沢 正敏

  (株)日立製作所デバイス開発センタ

• 峯尾 江利子

  (株)日立製作所デバイス開発センタ

• 杉本 有俊

  (株)日立製作所デバイス開発センタ

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