三好 寛和 | 三菱電機(株)
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概要
関連著者
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三好 寛和
三菱電機(株) Ulsi開発研究所
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三菱電機(株) Ulsi開発研究所
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(株)ルネサステクノロジ先端デバイス開発部
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谷沢 元昭
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三菱電機(株)ULSI開発研究所
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岩松 俊明
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小谷 教彦
広島国際大学社会環境科学部
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石川 清志
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石川 清志
三菱電機(株)ulsi技術開発センター
著作論文
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- 中性 trap 生成の解析に基づいた新しいゲート酸化膜破壊モデルの提案
- 電流ストレスによりSi熱酸化膜界面近傍に生成された中性trap密度の評価手法の提案
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- デバイス/回路シミュレータの結合
- UV-O_2酸化を用いた低温ゲート酸化膜形成
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