石塚 典男 | (株)日立製作所機械研究所
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概要
関連著者
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石塚 典男
(株)日立製作所機械研究所
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三浦 英生
東北大
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三浦 英生
(株)日立製作所機械研究所
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三浦 英生
日立機械研
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三浦 英生
東北大学大学院工学研究科
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斉藤 直人
(株)日立製作所機械研究所
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池田 修二
日立製作所半導体事業部
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池田 修二
(株)日立製作所半導体グループ:(現)トレセンティテクノロジーズ
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鈴木 範夫
(株)日立製作所半導体グループ:(現)トレセンティテクノロジーズ
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池田 修二
(株)日立製作所半導体事業部
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石塚 典男
日立機械研
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鈴木 範夫
日立半導体グループ
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吉田 安子
(株)日立製作所半導体グループ
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鈴木 範夫
(株)日立製作所半導体グループ
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太田 裕之
(株)日立製作所
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佐々木 直哉
(株)日立製作所機械研究所
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西村 朝雄
(株)日立製作所機械研究所
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岩崎 富生
(株)日立製作所機械研究所
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(株)日立超LSIシステムズ
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熊沢 鉄雄
株式会社日立製作所
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池田 修二
日立半導体事業本部
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守谷 浩志
日立製作所機械研究所
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守谷 浩志
(株)日立製作所 機械研究所
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坂田 寛
(株)日立製作所機械研究所
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斉藤 直人
日立機械研
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西村 朝雄
(株)日立製作所半導体グループ
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西村 朝雄
(株)日立製作所半導体事業部
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熊沢 鉄雄
(株)日立製作所機械研究所
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岩崎 富生
(株)日立製作所 機械研究所
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熊沢 鉄雄
株式会社日立製作所機械研究所
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熊沢 鉄雄
(株)日立製作所
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太田 裕之
日立機械研究所
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岩崎 富生
(株)日立製作所
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西村 朝雄
(株)日立製作所
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佐々木 直哉
(株)日立製作所日立研究所
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佐々木 直哉
(株)日立製作所 日立研究所
著作論文
- 薄膜の内部応力を考慮したトランジスタ構造の応力解析方法の検討
- 半導体浅溝型素子分離(SGI)構造の酸化反応誘起応力の検討
- 413 半導体浅溝型素子分離構造の酸化誘起応力
- 応力緩和による半導体浅溝型素子分離構造の形状制御
- 637 半導体溝型素子分離構造における酸化プロセス誘起応力解析
- シリコン結晶のラマン振動数に対する応力効果の分子動力学解析
- 半導体デバイスの応力測定を目的とした紫外レーザラマン応力測定装置の開発