有門 経敏 | (株)東芝セミコンダクター社プロセス技術推進センター

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• 有門 経敏

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• 奥村 勝弥

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• 村越 篤

  (株)東芝 セミコンダクター社 プロセス技術推進センター

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• 有隅 修

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  (株)東芝 Ulsi研究所

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  (株)東芝、研究開発センター、ulsi研究所

• 吉岡 正樹

  ウシオ電機(株)ランプ技術本部

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著作論文

• ED2000-138 / SDM2000-120 / ICD-2000-74 ダマシンメタルゲートトランジスタ技術 : しきい値バラツキの低減とソースドレインサリサイドのインテグレーション
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• フラッシュランプを用いた新しいPZT膜結晶化技術

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