山川 晃司 | (株)東芝セミコンダクター社
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概要
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山川 晃司
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(株)東芝セミコンダクター社半導体研究開発センター
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株式会社東芝
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- Chain FeRAM技術概要とScalingに適したShield-Bitline-Overdrive技術(新材料メモリ,メモリ(DRAM, SRAM,フラッシュ,新規メモリ)技術)
- フラッシュランプを用いた新しいPZT膜結晶化技術
- 新不揮発性メモリChainFeRAM (特集2 モバイル・ネットワーク時代のメモリLSI--ネットワーク機器の実現に,多様な製品でこたえる)
- 半導体分野におけるろう付技術(最近のろう付技術)
- AlNと薄膜金属の高温アニールにおける反応