Sampurno Yasa | University of Arizona
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概要
関連著者
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Sampurno Yasa
University of Arizona
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Philipossian Ara
University of Arizona
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Zhuang Yun
University of Arizona
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Cheng Jiang
Araca Inc.
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谷 クン
東北大学工学研究科電子工学専攻
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根本 剛直
東北大学未来科学技術共同研究センター
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寺本 章伸
東北大学未来科学技術共同研究センター
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伊藤 隆司
東北大学工学研究科電子工学専攻
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大見 忠弘
東北大学未来科学技術共同研究センター
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大見 忠弘
東北大学
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Cheng Jiang
Araca, Inc.
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大見 忠弘
東北大学未来科学技術共同研究センター:東北大学wpiリサーチセンター
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OHMI Tadahiro
New Industry Creation Hatchery Center, Tohoku University
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伊藤 隆司
(株)富士通研究所
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Zhuang Yun
University Of Arizona:araca Inc.
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Ohmi Tadahiro
Department Of Electronic Engineering Tohoku University
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Ohmi Tadahiro
The New Industry Creation Hatchery Center (niche) Tohoku University
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Sampurno Yasa
University Of Arizona:araca Inc.
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伊藤 隆司
富士通研究所
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伊藤 隆司
東京工業大学ソリューション研究機構:広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所
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Ohmi T
Tohoku Univ. Sendai‐shi Jpn
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Sugawa Shigetoshi
Graduate School Of Engineering Tohoku University
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Philipossian Ara
University Of Arizona:araca Inc.
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伊藤 隆司
東京工大 ソリューション研究機構
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NEMOTO Takenao
Tohoku Univ. Graduated School of Engineering
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Ohmi Tadahiro
New Industry Creation Hatchery Center (niche) Tohoku University
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Akinobu Teramoto
Tohoku University, 6-6-10 Aza-Aoba, Aramaki, Aoba-ku, Sendai 980-8579, Japan
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Teramoto Akinobu
New Industry Creation Hatchery Center (NICHe), Tohoku University, Sendai 980-8579, Japan
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Gu Xun
Tohoku University, 6-6-10 Aza-Aoba, Aramaki, Aoba-ku, Sendai 980-8579, Japan
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Yun Zhuang
University of Arizona, 1133 James E. Rogers Way, Tucson, AZ 85721, U.S.A.
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Ara Philipossian
University of Arizona, 1133 James E. Rogers Way, Tucson, AZ 85721, U.S.A.
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Tadahiro Ohmi
Tohoku University, 6-6-10 Aza-Aoba, Aramaki, Aoba-ku, Sendai 980-8579, Japan
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Nemoto Takenao
New Industry Creation Hatchery Center (NICHe), Tohoku University, Sendai 980-8579, Japan
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Gu Xun
Graduate School of Engineering, Tohoku University, Sendai 980-8579, Japan
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Nemoto Takenao
New Industry Creation Hatchery Center, Tohoku University
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Takenao Nemoto
Tohoku University, 6-6-10 Aza-Aoba, Aramaki, Aoba-ku, Sendai 980-8579, Japan
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Philipossian Ara
University of Arizona:Araca, Inc.
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Theng Sian
Araca, Inc.
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Mateo Ricardo
Araca, Inc.
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Borucki Leonard
Araca, Inc.
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Yasa Sampurno
University of Arizona, 1133 James E. Rogers Way, Tucson, AZ 85721, U.S.A.
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Zhuang Yun
University of Arizona:Araca, Inc.
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Xun Gu
Tohoku University, 6-6-10 Aza-Aoba, Aramaki, Aoba-ku, Sendai 980-8579, Japan
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Gu Xun
Graduate School of Engineering, Tohoku University
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寺本 章伸
東北大学未来科学共同センター
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大見 忠弘
東北大学未来科学共同センター
著作論文
- 高精度CMP終点検出方法の検討(プロセス科学と新プロセス技術)
- Tribological study for low shear force CMP process on damascene interconnects (シリコン材料・デバイス)
- End-Point Detection of Ta/TaN Chemical Mechanical Planarization via Forces Analysis