藤田 文子 | (株)ルネサステクノロジ
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概要
関連著者
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林 岳
(株)ルネサステクノロジ ウェハプロセス技術統括部
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林 岳
(株)ルネサステクノロジ
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嶋本 泰洋
(株)日立製作所中央研究所
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大野 吉和
(株)ルネサステクノロジ
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米田 昌弘
(株)ルネサステクノロジ
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井上 真雄
(株)ルネサステクノロジ生産技術本部ウエハプロセス技術統括部プロセス開発部
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由上 二郎
(株)ルネサステクノロジ
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水谷 斉治
(株)ルネサステクノロジ
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志賀 克哉
(株)ルネサステクノロジ
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藤田 文子
(株)ルネサステクノロジ
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土本 淳一
(株)ルネサステクノロジ
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由上 二郎
(株)日立製作所 中央研究所
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土本 淳一
ルネサス テクノロジ
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志賀 克哉
(株)ルネサステクノロジ ウェハプロセス技術統括部
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由上 二郎
(株)半導体先端テクノロジーズ(selete)
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井上 真雄
(株)ルネサステクノロジ
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土本 淳一
(株)ルネサステクノロジ、生産本部、ウエハプロセス技術統括部、プロセス開発部
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由上 二郎
ルネサス テクノロジ
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土本 淳一
(株)ルネサス テクノロジ、生産本部、ウエハプロセス技術統括部
著作論文
- poly-Si電極における仕事関数変調とそのデバイスインパクト : SiON/poly-Si界面の微量Hfの効果(VLSI回路, デバイス技術(高速・低電圧・低消費電力))
- poly-Si電極における仕事関数変調とそのデバイスインパクト : SiON/poly-Si界面の微量Hfの効果(VLSI回路, デバイス技術(高速・低電圧・低消費電力))