半導体デバイス用CVD薄膜生成のコンピュータシミュレーション--Soret(熱拡散)効果に注目したMOCVD膜生成の例

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概要

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• 日本大学工学部工学研究所の論文

著者

• 杉山 正和

  東大 大学院

• 杉山 正和

  東京大学大学院総合研究機構

• 杉山 正和

  東京大学大学院 工学系研究科

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