動的エリプソメトリによるMOVPEのその場観察とInGaAs/InP界面急峻性向上への応用

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概要

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• 東京大学工学部総合試験所の論文

著者

• 杉山 正和

  東大 大学院

• 杉山 正和

  東京大学大学院総合研究機構

• 杉山 正和

  東京大学大学院 工学系研究科

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