AlGaN系紫外線受光素子の開発(2)真空紫外領域における受光感度特性評価
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概要
著者
-
大内 洋一郎
三菱電線工業株式会社フォトニクス研究所
-
元垣内 敦司
Graduate School Of Electronic Science And Technology Shizuoka University
-
只友 一行
三菱電線工業株式会社フォトニクス研究所
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