超音波気体ポンプ内部の有限要素解析 (特集 超音波の非線形効果とその応用)
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概要
著者
-
中村 健太郎
東京工業大学精密工学研究所
-
小山 大介
湘南工科大学 工学部
-
中村 健太郎
東工大精密工学研究所
-
和田 有司
東京工業大学精密工学研究所
-
小山 大介
東京工大
-
和田 有司
東京工大精研
-
小山 大介
同志社大理工
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