ArFエキシマレ-ザ-複合熱フィラメントCVD法によるダイヤモンド薄膜の気相合成の研究 (超先端加工システムの研究開発<特集>) -- (表層改質のその場計測評価)
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- P.D.Townsend, J.C.Kelly and N.E.W.Hartley偏, Ion Implantation, Sputtering and Their Applications, Academic Press, London and New York, 1976, ix+333ページ, 23.5×16cm, 8,360円.
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