P.D.Townsend, J.C.Kelly and N.E.W.Hartley偏, Ion Implantation, Sputtering and Their Applications, Academic Press, London and New York, 1976, ix+333ページ, 23.5×16cm, 8,360円.

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概要

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• 社団法人日本物理学会の論文
• 1977-05-05

著者

• 牧田 雄之助

  電総研

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