Sn+をイオン注入したGaAsに対するパルス紫外線レ-ザ-の照射効果に関する研究 (超先端加工システムの研究開発<特集>) -- (表層改質のその場計測評価)

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概要

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• 電子技術総合研究所の論文

著者

• 柴田 肇

  電総研

• 牧田 雄之助

  電総研

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