ガス分析用自動記録式ダイヤフラムマイクロマノメーターの製作
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概要
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ガスの絶対圧力を測定するマクラウドゲージは連続的に圧力を測定することはできない.またピラニゲージ,イオン化ゲージはガスの種類によりその指示が大きく異なるので個々のガスについて補正が必要である.これらの欠点のない圧力測定法であるダイヤフラムマノメーターは従来はmmHg程度か,または10<SUP>-3</SUP>mmHg程度であっても自動記録ができなかった.本論文では金属中微量ガス分析装置の自動化用として開発するために自動平衡記録方法のダイヤフラムマイクロマノメーターの製作に関する方法および各エレメントに対する実験的検討がなされている.その結果,製作されたダイヤフラムマイクロマノメーターは6×10<SUP>-4</SUP>〜8×10<SUP>-2</SUP>mmHgの範囲で直線性を示しガス分析に使用可能であった.
- 社団法人 日本分析化学会の論文
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