27aWG-10 シリコンウエハー中のAsの蛍光X線ホログラフィー(27aWG X線・粒子線,領域10(誘電体,格子欠陥,X線・粒子線,フォノン物性分野))
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概要
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- 一般社団法人日本物理学会の論文
- 2002-03-01
著者
-
林 好一
東北大金研
-
高橋 幸生
東北大金研
-
松原 英一郎
東北大金研
-
石井 真史
Spring-8 Jasri
-
谷田 肇
SPring8
-
竹村 モモ子
東芝・研究開発センター
-
水島 一郎
東芝
-
石井 真史
Spring8
-
竹村 モモ子
東芝
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