二段階プロセスで成膜したイットリア薄膜の結晶性とフッ素系ハロゲンプラズマ耐性
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概要
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- 2009-05-21
著者
-
桜井 健次
独立行政法人物質・材料研究機構
-
池田 直樹
物材機構
-
池田 直樹
独立行政法人 国立病院機構 近畿中央胸部疾患センター 外科
-
津谷 大樹
物材機構
-
池田 直樹
物質・材料研究機構
-
石井 真史
物質・材料研究機構
-
桜井 健次
物質・材料研究機構
-
津谷 大樹
(独)物質・材料研究機構
-
石井 真史
独立行政法人 物質・材料研究機構
-
津谷 大樹
独立行政法人 物質・材料研究機構
-
桜井 健次
独立行政法人 物質・材料研究機構
-
桜井 健次
物質・材料研究機構 材料研
-
桜井 健次
(独)物質・材料研究機構材料研究所
-
桜井 健次
(独)物質・材料研究機構 放射光解析グループ
-
石井 真史
物材機構
-
石井 真史
Spring-8高輝度光科学研究センター
-
石井 真史
高輝度光科学研究センター:理化学研究所播磨研究所
-
石井 真史
Spring-8 Jasri
-
石井 真史
(財)高輝度光化学研究センター放射光研究所
-
桜井 健次
(独)物質・材料研究機構 量子ビームセンター
-
池田 直樹
独立行政法人 物質・材料研究機構
-
石井 真史
(独)物質・材料研究機構
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