原子移動型スイッチを使ったスマート配線技術と低電力再構成回路への応用(配線・実装技術と関連材料技術)
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概要
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多層配線のスケーリング則か限界に達しつつある今、多層配線中に機能素子(バックエンドテバイス)を搭載することで、微細化することなくULSIのエネルギー効率を改善することか期待されている。本稿では、オン/オフ比に優れる原子移動型スイッチを用いることて、ロジック信号の伝搬先の変更を布線論理にて行うスマート配線技術について説明し、その信頼性の改善手法およひ低電力再構成可能回路への応用について述べる。
- 2013-01-28
著者
-
波田 博光
Necデバイスプラットフォーム研究所
-
阪本 利司
日本電気(株)デバイスプラットフォーム研究所
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井口 憲幸
日本電気株式会社ナノエレクトロニクス研究所
-
阪本 利司
Nec 基礎・環境研
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波田 博光
超低電圧デバイス技術研究組合
-
宮村 信
超低電圧デバイス技術研究組合
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多田 宗弘
超低電圧デバイス技術研究組合
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阪本 利司
超低電圧デバイス技術研究組合
-
伴野 直樹
超低電圧デバイス技術研究組合
-
岡本 浩一郎
超低電圧デバイス技術研究組合
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井口 憲幸
超低電圧デバイス技術研究組合
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