ナノミスト堆積(NMD)法を用いた有機薄膜の成膜とOLEDへの応用(有機材料,作製・評価技術,一般)
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概要
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エレクトロスプレー法の一種であり、ノズル近傍に引出電極を装荷したナノミスト堆積(NMD)法を用いて、緑色発光高分子であるF8BT薄膜の成膜特性を評価した。電極-基板間距離を広げることにより塗布領域は線形に拡大し、直径47mm程度の領域に成膜が可能であった。成膜条件の制御により表面粗さ(Ra)4.9nm程度の平坦な成膜が得られた。また、AZO/F8BT/MoO_3無機有機複合型LEDのF8BT層成膜にNMDを用い、スピンコート法と遜色無い良好な電気特性と発光特性を得た。さらに、TPD/F8BT/BCP:低分子/高分子/低分子積層構造OLEDをNMD法で作製し明瞭な整流特性と電流注入発光を得ることにより、有機多層構造の形成が可能であることを実証した。
- 2012-05-17
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