1P1-N01 エッジモード圧電振動子によるプローブ顕微鏡用プローブセンサ(MEMSとナノテクノロジー)
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概要
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In this paper, an edge mode probe sensor using a piezoelectric thin film is introduced. The edge mode is an oscillating mode which the vibration concentrates on the end of a rectangular plate. This probe sensor is used as a probe sensor of the scanning probe microscope. The edge mode probe was oscillated by the PZT thin film deposited on titanium substrate. The PZT film was also used for the detection of the edge mode vibration. The probe had dimensions of 10x2.5x0.1mm. We have succeeded in oscillating and detecting the edge mode vibration by the piezoelectric film. We have also succeeded in detecting the contact by this edge mode probe sensor.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2007-05-11
著者
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