26aYC-10 6H-SiC(1120)清浄表面の酸窒化過程 : 界面の構造とキネティクス(26aYC 表面界面構造,領域9(表面・界面,結晶成長))

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概要

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• 社団法人日本物理学会の論文
• 2006-08-18

著者

• 城戸 義明

  立命館大理工

• 星野 靖

  立命館大理工:神奈川大理

• 西村 智朗

  立命館大理工

• 大川 貴宏

  立命館大理工

• 福山 亮

  立命館大理工

• 星野 靖

  京大工

• 城戸 義明

  立命館大 理工

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