21113 微細作業システムにおける実画像援用による仮想モデルの構築(情報・知能・精密機器)
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概要
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This paper presents a micro manipulation system with a force feedback ability. Operating such a system from a remote site typically suffers from transparency and time delay problem. Even a small time delay imposes difficulties on the operater, especially in force feedback. This problem is dealt with in this study by adopting a virtual model at the remote site. In order to generate a reasonable virtual model, we use actual SEM images from which a probe and an object to be handled are extracted and reconstructed as a virtual model through image processing.
- 2007-03-15
著者
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