原子分解能を有する原子間力顕微鏡法の新展開 : 原子種識別や原子操作を行うための新技術(実験技術)
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概要
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周波数変調方式の非接触原子間力顕微鏡は,探針先端の原子と試料表面の原子間に働く力を検出し,原子分解能で試料表面を画像化する.絶縁体での原子レベルでの測定など,走査型トンネル顕微鏡では困難な研究領域をカバーすることが期待されている.本稿では筆者らが開発した原子間力顕微鏡を用いた物性計測と原子操作について,これまでどのような課題がありどのように解決することで種々の測定が行えるようになったかを解説する.
- 社団法人日本物理学会の論文
- 2007-11-05
著者
-
杉本 宜昭
大阪大学大学院工学研究科
-
阿部 真之
大阪大学大学院工学研究科
-
森田 清三
大阪大学大学院工学研究科
-
阿部 真之
阪大フロンティア研究機構
-
森田 清三
大阪大学工学部電子
-
Morita S
Faculty Of Engineering Osaka University
-
Morita S
Osaka Univ. Osaka
-
阿部 真之
大阪大学工学研究科
-
杉本 宜昭
大阪大学工学研究科
-
Morita Shigenori
Department Of Electronic Engineering Osaka University
-
Mishima Syuzo
Research Department Olympus Optical Co. Ltd.
-
Morita Seizo
Graduate School Of Engineering Osaka University
-
阿部 真之
大阪大学 大学院 工学研究科
-
杉本 宣昭
阪大工
-
森田 清三
大阪大学工学研究科電気電子情報工学
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