交換型垂直原子操作を用いたアトムペン方式の原子埋め込み文字の研究
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概要
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- 日本表面科学会の論文
- 2009-08-10
著者
-
杉本 宜昭
大阪大学大学院工学研究科
-
阿部 真之
大阪大学大学院工学研究科
-
森田 清三
大阪大学大学院工学研究科
-
阿部 真之
阪大フロンティア研究機構
-
Morita S
Faculty Of Engineering Osaka University
-
Morita S
Osaka Univ. Osaka
-
Morita Shigenori
Department Of Electronic Engineering Osaka University
-
Mishima Syuzo
Research Department Olympus Optical Co. Ltd.
-
Morita Seizo
Graduate School Of Engineering Osaka University
-
阿部 真之
大阪大学 大学院 工学研究科
-
杉本 宣昭
阪大工
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