YBCO/STOバイクリスタル結晶粒界の欠陥評価(アナログ応用,一般)
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概要
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バイクリスタル基板結晶粒界に存在する欠陥がその上に成長する薄膜に欠陥を形成する可能性がある.FE-SEMならびにAFMを用い,STOバイクリスタル基板結晶粒界に点在する欠陥と,その上に堆積させたYBCO薄膜上の結晶欠陥について評価を行った.STO基板上において,接合角を反映した欠陥が観察され,YBCO薄膜成長に伴い,基板結晶粒界上の一部の欠陥は平坦化されるが,一部は基板欠陥の形状を継承して,薄膜結晶粒界上に形成された.FE-SEM像とAFM像における観察像の相違についても検討をおこなった.
- 2009-01-22
著者
-
牧 哲朗
大阪大学大学院基礎工学研究科
-
孔 祥燕
大阪大学大学院基礎工学研究科
-
中谷 悦啓
大阪大学大学院基礎工学研究科
-
久保 等
大阪大学大学院工学研究科
-
阿部 真之
大阪大学大学院工学研究科
-
糸崎 秀夫
大阪大学大学院基礎工学研究科
-
久保 等
大阪大学大学院工学研究科電気電子情報工学専攻
-
孔 祥燕
大阪大学大学院 基礎工学研究科
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