XeアシストMPCVDを用いたダイヤモンド薄膜成長
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概要
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- 1997-11-18
著者
-
牧 哲朗
大阪大学大学院基礎工学研究科
-
小林 猛
大阪大学大学院基礎工学研究科システム創成専攻電子光科学領域
-
小林 猛
大阪大
-
小林 猛
大阪大学大学院基礎工学研究科
-
細見 剛
大阪大学大学院 基礎工学研究科
-
牧 哲朗
大阪大
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