3. アブレーションプラズマ生成・制御1(レーザー) (<小特集>アブレーションプラズマのプロセス応用)
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概要
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For ordinary targets including oxides, metals, and semiconductors, excimer laser irradiation appeared to produce ablation plasma mainly via the thermal process (thermal ablation). In terms of practical use of pulsed laser ablation, the manipulation of the ablation plasma plume remains problematic. We proposed several methods ("eclipse method", "eclipse-angel method", and "aurora method") effective for overcoming this intrinsic weakness of conventional laser ablation. These methods are outlined and several applications are described herein.
- 社団法人プラズマ・核融合学会の論文
- 2000-11-25
著者
-
小林 猛
大阪大学大学院基礎工学研究科システム創成専攻電子光科学領域
-
佐藤 一成
大阪大学大学院基礎工学研究科
-
小林 猛
大阪大 大学院基礎工学研究科
-
小林 猛
阪大基礎工
-
小林 猛
大阪大学大学院基礎工学研究科
-
秋吉 秀樹
大阪大学大学院基礎工学研究科
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