高温超伝導SQUIDグラジオメータの製作と評価(アナログ応用,一般)
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概要
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様々な応用が期待されるSQUIDの高性能化に向け、高温超伝導YBCO(YBa_2Cu_3Q_<7-δ>)薄膜を用いた研究を行っている。今回、周囲環境雑音の低減を期待して平面型グラジオメータを採用した。製作プロセスとしては、SrTiO_3(STO)双晶基板上へのPLD(Pulsed Laser Deposition)法による薄膜蒸着の後、フォトリソグラフィ、Ar^+イオンビームエッチングによりパターニング、微細加工を行った。製作したSQUIDは、電気的特性やノイズ特性等、基本パラメータ評価をした。さらに応用として、今回作成したSQUIDを磁性金属粒子の検出に用いた。今後の製作へ向けての再現性や応用性、さらなる高性能化への改善点を考察する。
- 2009-01-22
著者
-
孔 祥燕
大阪大学大学院基礎工学研究科
-
関 天放
大阪大学大学院基礎工学研究科
-
糸崎 秀夫
大阪大学大学院基礎工学研究科
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呉松 沙織
大阪大学基礎工学部
-
成田 裕一
大阪大学基礎工学部
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関 天放
大阪大学基礎工学部
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孔 祥燕
大阪大学基礎工学部
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糸崎 秀夫
大阪大学基礎工学部
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