Scanning Probe Microscope Lithography of Silicon Using a Combination of a Carbon Nanotube Tip and a Polysilane Film as a Mask
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概要
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- 社団法人応用物理学会の論文
- 2002-07-30
著者
-
中山 喜萬
阪大工
-
秋田 成司
阪府大工
-
Okazaki Ai
Department Of Physics And Electronics Osaka Prefecture University
-
Okazaki A
Osaka Prefecture Univ. Osaka Jpn
-
Okazaki Atsushi
Department Of Physics Kyushu University
-
中山 喜萬
大阪府立大学工学部物理工学科
-
AKITA Seiji
Department of Physics and Electronics, Graduate School of Engineering, Osaka Prefecture University
-
NAKAYAMA Yoshikazu
Department of Physics and Electronics, Graduate School of Engineering, Osaka Prefecture University
-
Nakayama Yoshinori
Aset Super-fine Sr Lithography Laboratory
-
Nakayama Yoshikazu
Department Of Electrical Engineering College Of Engineering University Of Osaka
-
Akita Seiji
Department Of Physics And Electronics College Of Engineering University Of Osaka Prefecture
-
Akita Shirabe
Central Research Institute Of Electric Power Industry
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