オゾン添加反応性直流マグネトロンスパッタによるITOの成膜 (高機能性を有する無機薄膜材料)
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概要
著者
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重里 有三
青学大理工
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重里 有三
青山学院大学大学院理工学研究科
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SHIGESATO Yuzo
College of Science and Engineering, Aoyama Gakuin University
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重里 有三
青山学院大
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Shigesato Yuzo
Institute Of Industrial Science University Of Tokyo
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Shigesato Yuzo
College Of Science And Engineering Aoyamagakuin University
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Shigesato Yuzo
Institute On Industrial Science University Of Tokyo
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Shigesato Yuzo
Department Of Chemistry Aoyama Gakuin University
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