オゾン添加反応性直流マグネトロンスパッタによるITOの成膜
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概要
著者
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重里 有三
青学大理工
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伊藤 宜弘
パナソニック電工
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重里 有三
青山学院大学大学院理工学研究科
-
宋 豊根
青山学院大学大学院理工学専攻機能物質創成コｰス
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伊藤 宜弘
青山学院大学理工学部化学科
-
今 真人
青山学院大学理工学部化学科
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重里 有三
青山学院大
-
宋 豊根
青山学院大学理工学部化学科
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