208 高分子液晶を用いた片側パターン電極による研磨効果のAFMによる観察(GS-13 加工(2))
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概要
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Electrorheological(ER) fluids undergo a change in apparent viscosity upon application of electric field. ER slurry, which is composed of ER fluid and agrasive grains, is available for efficient polishing or finishing. In this paper, we propose a method of polishing or finishing with ER slurry and unilateral (or one-sided) patterned electrodes.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2004-03-17
著者
-
井上 昭夫
(株)ERテック
-
川向 良平
シャープ(株)
-
藤原 順介
大阪大学大学院工学研究科
-
川向 良平
阪大
-
木村 道廣
阪大
-
井上 昭夫
株式会社erテック
-
菊池 武士
府立産業技術総合研究所
-
古荘 純次
府立産業技術総合研究所
-
藤原 順介
府立産業技術総合研究所
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