111 超精密マザーマシンの開発(OS9 環境適応形加工)
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
Generally, in manufacturing of various parts of an ultraprecision machine tool, accuracy of a mother machine is not enough and tedious correction by scraping is indispensable. The purpose of this study is to investigate a possibility to design an ultraprecision mother machine which can produce machine parts of an ultraprecision machine tool. In this study, to obtain a higher accuracy independent of bed thickness or work size, active mounts are newly employed which can support the bed foot by push up or pull down forces and actively control the deformation of bed while the table traverses. From the results of simulations, it has been found that the active mounts are effective to improve the machining accuracy.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2004-11-19
著者
関連論文
- 細胞サージェリーのためのマイクロニードルアレイの開発
- 305 YAG レーザによるガラス基板のマイクロ接合(第 3 報) : 石英ガラス基板への適用
- 725 YAG レーザによるガラス基板のマイクロ接合(第 2 報) : 基板温度が接合形態に及ぼす影響
- 408 非軸対称非球面の超精密研削
- 403 単結晶ダイヤモンドバイトを用いた非軸対称非球面の 3 軸制御シェーバ加工
- F-0604 ダイヤモンドバイトを用いたシェーパ加工による自由曲面の鏡面加工(S41-1 生産システムにおけるハードウェア技術(1))(S41 生産システムにおけるハードウェア技術)
- ゲル状アルギン酸カルシウムを結合剤とした粒状化砥石の開発(S58 研削加工と砥粒加工,S58 研削加工と砥粒加工)
- タップ立て用切りくず分断工具の開発(第1報) : 工具の試作と有効性
- 硫酸バリウム砥石を用いたシリコンの鏡面研削 : 反応生成物の分析
- EPDペレットを用いた鏡面研削に関する研究-金属酸化物微粒子の適応-
- 細胞機能制御のためのMEMS細胞加振デバイスの開発
- 525 タップ立て用切りくず分断工具の開発 : めねじ強度に関する一考察(OS-8 工具・ツーリング)
- 313 超音波援用マイクロ非球面研磨に関する研究(卓上研磨装置の試作と基本的研磨特性の評価)
- 微小径エンドミル加工における特異切削現象に関する研究 : メカニズムと生起可能性について
- 非軸対称非球面の超精密研削(第2報):マイクロ回転非軸対称非球面の研削
- 231 非軸対称非球面の超精密研削(OS5 電子部品・光学部品の超精密加工)
- 機械工学年鑑(1997年) : 加工学・加工機器
- 314 硬脆材料のナノアブレージョン加工
- 硬脆材料の噴射式ナノアブレージョン加工 : 砥粒による加工特性の違い
- 噴霧式ナノアブレーションによる硬脆材料の超精密仕上げ加工:基本的加工特性
- ナノアブレージョンによる硬脆材料の超精密仕上げ加工に関する研究 : 第2報, 円運動直線走査
- 水晶の鏡面研削に関する研究 : EPD砥石の試作とその研削性能について
- 円筒プランジ研削のコンピュータシミュレーション : ワーク剛性が研削精度に及ぼす影響
- 252 微小径穴加工に関する研究(OS6-1 加工技術の進展)
- 254 タップ立て用切りくず分断工具の開発 : 難削材の通電加熱切削(OS6-1 加工技術の進展)
- 111 超精密マザーマシンの開発(OS9 環境適応形加工)
- 312 シリカ EPD 砥石による水晶の鏡面研削
- 311 EPD ペレットによる定圧加工
- 419 多軸制御した単結晶ダイヤモンドバイトによる自由曲面の超精密シェーパ加工
- 417 マイクロフレネル形状の超精密研削に関する研究
- 416 EPD ペレットを用いた定圧加工の検討
- 415 EPD 砥石によるガラスの鏡面研削
- 205 EPD 砥石による水晶の鏡面研削加工
- 201 マイクロ非軸対称非球面の精密研削加工
- YAGレーザによるガラス基板のマイクロ接合(第3報) : 石英ガラス基板への適用
- 最新精密・超精密位置決め事情(超精密位置決め専門委員会)(I.研究レビュー)(専門委員会研究レビュー)
- 高能率研削加工のシミュレーション(最近の高能率研削・重研削技術)
- 先行検出機構をもつ新型トレーサの倣い性能
- 特殊刃先をもつ超硬ツイストドリルの切削性能
- ガンドリルによる深穴加工の研究 (第5報) : ドリルチップ-加工穴の軸受特性
- ガンドリルによる深穴加工の研究 (第4報) : ドリルチップ周辺の油膜圧力
- ガンドリルによる深穴加工の研究 (第3報) : ドリルチップの運動形態に及ぼす加工条件の影響
- ガンドリルによる深穴加工の研究 (第2報) : ドリルチップの運動測定結果
- ガンドリルによる深穴加工の研究 (第1報) : ドリルチップの運動測定法
- 環境に優しい鏡面研削砥石の作製に関する一考察 : 加工メカニズムに基づく開発指針
- 超微粒子の電気泳動現象を利用した研削法に関する研究(第2報)-光学ガラスへの適用-
- 薄片状シリカEPDペレットによるシリコンウエハの研削特性(機械要素,潤滑,工作,生産管理など)
- シリコンの鏡面研削に関する研究 : 薄片状シリカ粒子を用いたEPD砥石の開発
- YAGレーザによるガラス基板のマイクロ接合(第1報) : レーザ透過性を利用したガラス界面の接合法の提案とその可能性検証
- YAGレーザによるガラス基板のマイクロ接合(第2報):基板温度が接合形態に及ぼす影響
- 314 YAGレーザによるガラス基板のマイクロ接合(OS6 マイクロ加工(1))
- YAGレーザによるガラス基板のマイクロ接合(第1報) : レーザ透過性を利用したガラス界面の接合の可能性検証
- 結晶化ガラスのクラックフリー・3次元レーザ加工
- 742 ダイヤモンド EPD ペレットによるシリコンウエハの研削
- 超精密加工機の工具-工作物間運動誤差補償法(第8報) -制御特性-
- 超精密加工機の工具-工作物間運動誤差補償法(第7報) -制御特性と加工精度-
- 超精密加工機の工具 -工作物間運動誤差補償法(第6報) -制御系の特性-
- レーザ光線による微粒子の操作とその応用に関する研究(第11報) -大気中における複数粒子の3次元操作-
- 円筒プランジ研削における振動抑制の一方法
- 変動砥石速度による研削振動発達の抑制
- すべり軸受スピンドルを用いたインプロセス運動誤差補正による超精密切削
- 超精密軸対称加工品の形状測定に関する研究(第1報) : 測定原理とシミュレーション
- F-0525 EPDペレットによるSiウエハの鏡面研削 : 空気冷却による冷却効果について(J17-2 マイクロトライボロジー&プロセッシング(2))(J17 マイクロトライボロジー&プロセッシング)
- 409 ガラス表面のレーザ微細成形加工
- YAGレーザによるガラス表面の微細加工(第3報) : 任意形状の凸部平面創成
- 結晶化ガラスのYAGレーザ加工 -クラックフリー・3次元加工法の開発-
- レーザ光線を利用した3次元微小構造物の組立技術に関する研究 : 第2報, 接着剤による構造物の強化
- レーザ光線を利用した3次元微小構造物の組立技術に関する研究 : 第1報, 空中における微粒子の操作法に組立法の提案
- 非軸対称非球面の超精密研削 : 研削システムの開発
- 743 シリカ EPD 砥石による水晶の鏡面研削
- 加工学・加工機器 : 機械工学年鑑(2000年)
- 永久磁石式磁気軸受併用によるエアスピンドルの高精度高剛性化
- ダイヤモンドEPDペレットによるシリコンウエハの研削
- 432 脆性材料の超精密研削(OS12 研削・砥粒加工)
- レーザ光線を用いた微粒子の配列法に関する研究 : 第1報, 水中における複数粒子の配列と運動制御
- レーザ光線による微粒子の操作とその応用に関する研究(第15報) -光放射圧による微粒子の回転運動を利用した3次元形状計測法の提案-
- レーザ光線による微粒子の操作とその応用に関する研究(第12報) -微粒子の回転制御-
- レーザ光線による微粒子の操作とその応用に関する研究(第10報) -対物レンズが微粒子操作に及ぼす影響-
- レーザ光線による微粒子の操作とその応用に関する研究(第9報)-浮上現象の解明-
- レーザ光線による微粒子の操作とその応用に関する研究(第8報) -定点配列と運動制御-
- レーザ光線による微粒子の操作とその応用に関する研究(第7報) -接着剤を用いた微粒子の3次元組立-
- レーザ光線による微粒子の操作とその応用に関する研究(第6報) -超微粒子の操作-
- レーザ光線による微粒子の操作とその応用に関する研究(第5報) -空中における微粒子の組立-
- レーザ光線による微粒子の操作とその応用に関する研究(第18報) : 雰囲気がレーザトラッピング特性に及ぼす影響
- レーザ光線による微粒子の操作とその応用に関する研究(第17報)-基板変位に伴う微粒子の振動特性-
- 研削切断における加工現象のモニタリング -システム構築とその検証-
- ガラスの3次元レーザ加工 -深穴加工に関する一考察-
- レーザー光線による微粒子の操作とその応用に関する研究(第16報) -アルミ鏡面基板の変位に伴う微粒子の振動現象-
- レーザ光線による微粒子の操作とその応用に関する研究(第13報) -ガラス棒の振動制御-
- 位置制御型アクティブレストによる精密円筒研削 第1報 試作と基本性能
- 超微粒子の電気泳動現象を利用した研削法に関する研究 (第1報)
- レーザ光線による微粒子の操作とその応用に関する研究(第4報)-空中における微粒子の浮上について-
- レーザ光線による微粒子の操作とその応用に関する研究(第3報)-水中における微粒子の回転特性-
- レーザ光線による微粒子の操作とその応用に関する研究(第二報)-新しい操作法の開発-
- レーザ光線による微粒子の操作とその応用に関する研究(第一報)-レーザトラッピング装置の試作とその性能評価-
- 微小穴加工機の開発(第2報) -微小トルク検出装置-
- 力補償型空圧ベローズ式アクティブレストによる精密円筒研削
- 精密工学会が果たしてきた役割(21世紀の精密工学会)
- 微小径エンドミルの折損寿命に関する研究
- 新型の液体注入式研削砥石オートバランサ