Spatial Control of Electron Energy Distribution Function in a Magnetically Filtered Multically Plasma Source
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概要
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Using a movable magnetic filter, a technique to control plasma parameters spatially has been investigated in a multicusp plasma source. At any filter position, plasma parameters change steeply across the magnetic filter. Mainly, a multicusp plasma source is divided into two parts, i.e., a source plasma region with energetic electrons and a diffused plasma region. In the latter region, the high-energy component of electrons is eliminated thoroughly by the localized magnetic field of the filter.
- 社団法人応用物理学会の論文
- 1991-06-01
著者
-
崎山 智司
山口大学
-
Naitou H
Yamaguchi Univ. Yamaguchi Jpn
-
Naitou Hiroshi
Department Of Electrical And Electronic Engineering Yamaguchi University
-
Fukumasa Osamu
Department Of Electrical And Electronic Engineering Faculty Of Engineering
-
Sakiyama Satoshi
Department Of Electrical And Electronic Engineering Faculty Of Engineering Yamaguchi University
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