Relationship between Control of Reactive Plasmas with Magnetic Filter and Formation of Thin Films
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概要
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- Publication Office, Japanese Journal of Applied Physics, Faculty of Science, University of Tokyoの論文
- 1997-07-01
著者
-
FUKUMASA Osamu
Department of Electronics, Kyoto University
-
崎山 智司
山口大学
-
Sakiyama Satoshi
Department of Electrical Engineering, Faculty of Engineering, Yamaguchi University
-
TAUCHI Yasushi
Department of Electrical and Electronic Engineering, Yamaguchi University
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