Low Energy Electron Beam Stimulated Surface Reaction: Selective Etching of SiO_2/Si Using Scanning Tunneling Microscope
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
- 社団法人応用物理学会の論文
- 1998-08-15
著者
-
岩崎 裕
阪大
-
IWASAKI Hiroshi
The Institute of Scient4fic and Industrial Research, Osaka University
-
YOSHINOBU Tatsuo
The Institute of Scientific and Industrial Research, Osaka University
-
Li Nan
The Institute of Scientific and Industrial Research, Osaka University
-
Yoshinobu T
Osaka Univ. Osaka Jpn
-
Yoshinobu Tatsuo
The Institute Of Scientific And Industrial Research Osaka University
-
Yoshinobu Tatsuo
Department Of Electrical Engineering Kyoto University:(present Address) The Institute Of Scientific
-
Li Nan
The Institute Of Scientific And Industrial Research Osaka University
-
Li Nan
Department Of Mechatronics And Precision Engineering Tohoku University
関連論文
- AFM陽極酸化法によるシリコン表面上たんぱく質分子微細パターン作製
- シリコン表面のナノトライボロジー
- 原子間力顕微鏡によるSi酸化膜の表面のナノトライボロジー
- 2P125 DNAナノ構造体のプログラム可能な階層的アセンブリ(核酸 A) 構造・物性))
- 24pTD-1 タウマチン結晶構造への塩の影響(結晶成長,領域9,表面・界面,結晶成長)
- 21aXK-9 荒れた微斜面の平坦化I-SrTiO_3のSTM観察(結晶成長,領域9,表面・界面,結晶成長)
- 21aXK-10 荒れた微斜面の平坦化II : MCシミュレーション(結晶成長,領域9,表面・界面,結晶成長)
- 21pXL-6 SrTio_3(001)表面における三次元穴の緩和II(表面界面ダイナミクス,領域9,表面・界面,結晶成長)
- 半導体化学イメージセンサのマイクロ流路デバイスへの応用
- 22pPSA-6 AFMによるタウマチン正方晶の分子分解能観察(領域9ポスターセッション,領域9,表面・界面,結晶成長)
- 20aPS-5 AFM による卵白リゾチーム結晶 (110) 面の成長観察
- 半導体化学イメージセンサによるマイクロ流路内のイオン濃度分布測定
- 21aWH-11 SrTiO_3(001)表面における三次元穴の緩和(表面界面ダイナミクス,領域9,表面・界面,結晶成長)
- Interface Morphology of Thermal-Oxide/Si(001) Studied by Scanning Tunneling Microscopy
- 01pC05 荒れた微斜面の平坦化 : STM観察とMCシミュレーションI(結晶成長基礎(3),第36回結晶成長国内会議)
- 25pPSB-40 SrTiO_3(001)表面における多層構造を形成している穴の熱緩和に関する研究(25pPSB 領域9ポスターセッション,領域9(表面・界面,結晶成長))
- 25pPSB-3 3次元核形成がもたらすリゾチーム正方晶の結晶形態のばらつき(25pPSB 領域9ポスターセッション,領域9(表面・界面,結晶成長))
- 25pPSB-2 AFMによる卵白リゾチーム斜方晶form I型結晶の観察(25pPSB 領域9ポスターセッション,領域9(表面・界面,結晶成長))
- 28pXJ-1 Si(111)微斜面におけるステップ核形成によるCaF_2薄膜の成長形態(28pXJ 結晶成長,領域9(表面・界面,結晶成長))
- 原子間力顕微鏡を用いたシリコン表面の局所陽極酸化 (特集 マテリアルインテグレーション--材料・生体・情報の融合を目指して(1))
- 30aPS-2 AFMによる卵白リゾチーム針状結晶の観察(30aPS 領域9ポスターセッション(表面,界面,結晶成長),領域9(表面・界面,結晶成長))
- 27aXJ-10 SrTiO_3(001)におけるSTM探針により作成したステップの非平衡構造の熱緩和(27aXJ 表面ダイナミックス(半導体表面),領域9(表面・界面,結晶成長))
- 半導体化学イメージセンサの開発と応用 (特集 マテリアルインテグレーション--材料・生体・情報の融合を目指して(1))
- メゾ構造のアニールによる変形と制御
- 21aPS-55 ステップ間相互作用が存在する系でのステップの熱平坦化のモンテカルロシミュレーション(領域9ポスターセッション,領域9(表面・界面,結晶成長))
- 21aPS-2 a-SiO_2中におけるSi結晶成長のモンテカルロシミュレーション(領域9ポスターセッション,領域9(表面・界面,結晶成長))
- Quantum Yield of Electron-Beam Induced Decomposition of SiO_2 Overlay on Si in Nanolithography Using Scanning Tunneling Microscope : Surfaces, Interfaces, and Films
- 21aPS-1 Si(111)微斜面におけるCaF_2膜の成長過程(領域9ポスターセッション,領域9(表面・界面,結晶成長))
- 原子間力顕微鏡によるシリコン表面のナノ陽極酸化
- SrTiO_3(001)表面におけるステップの熱緩和
- 27aWB-4 SrTiO_3(001)表面のステップの熱緩和過程におけるステップ間相互作用の影響(表面・界面構造, ダイナミクス,領域9(表面・界面, 結晶成長))
- Electron Tunneling through SiO_2/Si Structures in Scanning Tunneling Microscopy : Surfaces, Interfaces, and Films
- 24aPS-144 結晶微細構造のコーナー部分におけるステップのダイナミクス(表面・界面, 結晶成長,領域9(表面・界面, 結晶成長))
- Nanopit Formation and Manipulation of Steps on Si(001)at High Temperatures with a Scanning Tunneling Microscope
- Current-Induced Step Bunching on Vicinal Si(111)Studied by Light Scattering
- 25aZB-11 欠陥を持つ興奮性反応場でのスパイラルウェーブの生成と運動
- 走査プローブ法による半導体表面ナノ加工
- Controllable Nanopit Formation on Si(001) with a Scanning Tunneling Microscope
- 化学イメージセンサを用いたイオン拡散の測定
- 25aT-5 化学反応波のギャップ伝播
- 28a-P-9 ドットアレイ反応場でのパターン形成
- Experimental Measurement of the Intensity Profiles of a Low-energy Electron Beam Extracted from a Scanning Tunneling Microscope Tip by Field Emission
- 高分解能半導体化学イメージングセンサ
- 微小領域二次元pH分布可視化のための光走査型化学顕微鏡
- 光走査型化学顕微鏡による微生物代謝活動の観察
- 19pPSB-51 STMによるSi(113)表面上のCaF_2成長に関する研究
- Application of Chemical Imaging Sensor to Electro Generated pH Distribution
- Visualization of pH Change of E. coli with a Novel pH Imaging Microscope
- Observation of Microorganisms Colonies Using a Scanning-Laser-Beam pH-Sensing Microscope
- Improvememt of Spatial Resolution of a Laser-Scanning pH-Imaging Sensor
- Anisotropic Waves Propagating on Two-Dimensional Arrays of Belousov-Zhabotinsky Oscillators
- Simulation of Light Scattering by a Particle on a Film-Coated Substrate Using Coupled-Dipole Method
- Light Scattering by Submicron Particles on Film-Coated Wafers
- Redox Potential Imaging Sensor
- Enhanced Nano-Oxidation on a SCi-Treated Si Surface Using Atomic Force Microscopy
- Nanotribology of Clean and Oxide-Covered Silicon Surfaces Using Atomic Force Microscopy
- Fabrication of Nanopit Arrays on Si (111)
- Scanning Tunneling Microscopy Study of the Misfit Layer Compounds (LaSe)_xNbSe_2 and (PbSe)_xNbSe_2
- Scaling Analysis of SiO_2/Si Interface Roughness by Atomic Force Microscopy
- Mesoscopic Roughness Characterization of Grown Surfaces by Atomic Force Microscopy
- Scanning Tunneling Microscope (STM)-Excited Molecular Fluorescence from Porphyrin Thin Films
- Low Energy Electron Stimulated Etching of Thin Si-Oxide Layer in Nanometer Scale Using Scanning Tunneling Microscope
- Low Energy Electron Stimulated Etching of Thin Si Oxide Layer Using STM : Nano-fabrication with A Localized Low-energy e-Beam
- Scanning Tunneling Microscopy Study of Faceting on Vicinal Si(113)
- STM Nano-Lithography with SiO_2 Mask
- Low Energy Electron Beam Stimulated Surface Reaction: Selective Etching of SiO_2/Si Using Scanning Tunneling Microscope
- Fluctuations of a Single Step and surface Height on Vicinal Surfaces
- Application of the pH-Imaging Sensor to Determining the Diffusion Coefficients of Ions in Electrolytic Solutions
- Nanoscale Patterning of Au Films on Si Surfaces by Atomic Force Microscopy
- STMによるシリコン酸化膜を用いたナノ加工プロセス
- Si(113)表面におけるステップの揺らぎ
- 新しい化学センサとその応用 (特集 InterMaterial[3])
- 26p-G-7 格子状反応場での興奮波パターン
- PHイメージセンサーを用いた細菌コロニーのイメージング
- 28p-C-1 銅めっき表面のカイネティックラフニング : シミュレーション
- レ-ザ-ビ-ム走査型バイオセンシング顕微鏡の開発基礎研究
- 4p-E-5 電気化学堆積銅表面のカイネティックラフニング
- 3a-YH-7 微斜面におけるステップの揺らぎと表面の揺らぎ
- Solution of the Knapsack Problem by Deoxyribonucleic Acid Computing
- 15aPS-48 CaF_2/Si(111) エピタキシャル成長における二次元島密度のテラス幅依存性(領域 9)
- 20aPS-50 Si(111) 表面上の CaF_2 成長過程におけるステップカイネティクス
- 14pXG-12 シリコン表面上に形成したトレンチ構造の側壁におけるステップの挙動(表面界面構造 : 半導体, 領域 9)
- 20aPS-38 SrTiO_3(001) 表面におけるステップの揺らぎ
- 19pRH-3 Si(113)微斜面の酸素ガスエッチング過程におけるファセット成長
- Si(111)上のCaF_2薄膜成長の走査トンネル顕微鏡観察
- SiO_2/Si(001)界面の走査トンネル顕微鏡による解析
- 28aTA-9 Si(113)表面のファセッティングにおけるステップダイナミクス
- 24pPSA-48 CaF_2/Si(111)表面のSTM観察
- 24aPS-62 STMによるSi表面上における電界誘起ナノピット形成
- XPS Study of Gd-Co and Gd-Fe Amorphous Films
- A Consideration of the Chemical Shift in ESCA Spectra from Oxide/Semiconductor Interface
- シリコン表面におけるステップダイナミクスの研究 (特集 マテリアルインテグレーション--材料・生体・情報の融合を目指して(1))
- Direct Observation of Deoxyribonucleic Acid Anchored between an Aluminum Electrode and an Atomic Force Microscope Cantilever
- Atomic Force Microscopy Observation of Deoxyribonucleic Acid Stretched and Anchored onto Aluminum Electrodes
- Selective Reaction of Ferrocene with Si(111) Using a CaF Mask
- Epitaxial Growth of CaF_2 Films on Si(111) Studied by Scanning Tunneling Microscopy(Surfaces, Interfaces, and Films)
- 24aPS-114 微斜面上でのサブモノレイヤー成長における2次元島の形成と成長(表面・界面, 結晶成長,領域9(表面・界面, 結晶成長))
- 27aPS-17 シリコン結晶中における酸素拡散の分子動力学シミュレーション(領域11,領域12合同ポスターセッション,領域11(統計力学,物性基礎論,応用数学,力学,流体物理))
- Evaluation of the Figure of Merit of Thermoelectric Modules by Harman Method
- Evaluation of the Figure of Merit on Thermoelectric Materials by Harman Method